9 チャンバ 真空ポンプ ベローズ側 バルブ側 XLA Series／製品個別注意事項q 　 注意 !全体共通 q高湿度の雰囲気の場合は、配管直前まで梱包状態を維持し てください。 wスイッチ付の場合は、リード線に充分な曲率をもたせ、無理 な力が加わらない状態で固定してください。 eフランジ部に過大な力が加わらないように配管してくださ い。重量物や取付け品が振動する場合は、フランジに直接 トルクがかからないように固定してください。 取付 　 注意 qフランジシール面およびOリングは、エタノールなどでク リーニングしてから取付けてください。 wフランジシール面保護のため0.1.0.2mmの凹になってい ますが、シール面に傷などが付かないように取扱ってくだ さい。 e排気方向 動作上、排気方向は自由ですが、排気による流れが生ずる 場合には耐久性は低下する場合があります。 下図排気方向（ベローズ側排気）を推奨します。 使用条件により寿命は異なりますので、充分な確認をお願 いいたします。 配管 　 警告 !全体共通 qボディ材質はA6063、ベローズはSUS316L、その他真空 部の金属材質はSUS304です。 　真空部のシール材質は標準でFKMとなっておりますが、そ の他材質（型式表示方法確認ください）の選択が可能です。 使用材質を確認のうえ、支障のない流体をご使用ください。 w操作気圧配管材料および継手の耐熱は、使用温度に適した ものを選定してください。 !オートスイッチ付 qスイッチ部の温度は60℃以下にしてください。 !ヒータ付 qヒータ（サーミスター）付をご使用の場合は、温度過昇防止 機構を設置してください。 wデポジットの多いガスの場合は、高温タイプをご使用のうえ、 ボディを加熱し、製品へのデポジットを防止してください。 設計上のご注意 L型エアオペレートバルブ／XLAシリーズ 選定 　 注意 !全体共通 qフラットパネルディスプレー用製造装置など大型装置の主 排気ラインに使用される高真空バルブにおいて、より耐久 性を向上させるためOリングシール方式のXLF（V）・XLG （V）シリーズを推奨します。 w製品の応答性を管理する場合は、配管サイズと長さおよび パイロット用電磁弁の流量特性にご注意ください。 eパイロット圧力は規定内でご使用ください。0.4.0.5MPa を推奨します。 r使用圧力範囲内でご使用ください。 t使用温度範囲内でご使用ください。 y作動用ピストン室およびベローズ室は大気と直接接続して います。ダストの排出に対し、問題のない環境下でご使用 ください。（ダストの放出を避ける必要がある場合には、 当社へご確認ください。） uオートスイッチなし（マグネット内蔵除く）を選定された場 合、オートスイッチの後付けはできませんのでご注意くだ さい。 　 注意 r誤作動しない耐振動は30m/s（2 45.250Hz）となっており ますが、振動が継続する場合には耐久性低下の恐れがあり ます。過大な振動や衝撃が加わらないよう配管してくださ い。 !高温タイプ（温度仕様／H0 H4 H5） qヒータ（サーミスター）付の場合は、リード線および結線部 の絶縁部分に損傷を与えないようにご注意ください。 wヒータ付の設定温度は、無風状態で保温材なしでの目安で す。保温処理、他の配管の加熱などの条件により変化しま す。微調整はできません。 eヒータ取付品の設置またはヒータを取付けた場合は、実際 の使用温度で絶縁抵抗を確認してください。漏電ブレーカ などの設置を推奨します。 r製品を保温する場合は、ボンネット部を除きボディ部のみ を保温してください。 tヒータ付の場合、ヒータ加熱中は、製品全体が高温になり ます。素手で触ると火傷をしますのでご注意ください。 取付 推奨排気方向 ［ベローズ側に真空ポンプ接続］ ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意につきましては裏表紙、オートスイッチ／ 共通注意事項につきましては当社ホームページの「SMC製品取扱い注意事項」および「取扱 説明書」をご確認ください。http://www.smcworld.com