アルミボディ採用ベローズ交換が可能 フランジサイズバリエーション ベローズAss'yでの交換が可能になりメンテナンスコ ストの低減と廃棄物の削減が図れます。 ボディ ベローズAss'y ボンネットAss'y ・均一なベーキング温度 ・軽量・コンパクト ・アウトガスが少ない ・重金属汚染が少ない ・フッ素ガスの腐食に強い フランジサイズ使用圧力 Pa（abs） リーク量 Pa・m3/s以下オプション KF （NW） K （DN） 内部外部 o16 10−6 〜 大気圧 10−10 10−11 オートスイッチ付 ヒータ付 インジケータ付 高温仕様 o25 o40 o50 o63 o80 RoHS CAT.S140-8A XLA Series 高真空L型バルブ アルミニウム製