1 オートスイッチ 取付可能 ヒータ付の選択可能 （オプション） 100/120｢ｪC用 eボディ1 rボディ2 tボディ3 wベローズ qバルブ ヒータ 0 20 40 60 80 100 120 140 0 30 60 90 時間（分） 温度（°C） e・r・t q・w XLA Series 均一な ベーキング温度 熱伝導率が良く、ボディ全体が 均一な温度になり、 生成物の付着が激減します。 アウトガスが少ない アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、 排気時間も短くできます。 重金属汚染が少ない Ni （ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパ ッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少 なくて済みます。 軽量・コンパクト 小さなボディで大きなコンダクタンス。 フッ素に対する耐食性に優れています。 （ボディ） A B XLAシリーズの場合 型式A mm B mm 質量 kg コンダクタンス XLA-16-2 40 108 0.28 5 XLA-25-2 50 121 0.47 14 XLA-40-2 65 171 1.1 45 XLA-50-2 70 185 1.8 80 XLA-63-2 88 212 3.1 160 XLA-80-2 90 257 5.1 200 KF25サイズでの比較120℃仕様温度分布