3 フランジ面 左 フランジ面 右 フランジ側 フランジ面 裏 q w e r t y u XLA 16 2 M9N A qフランジサイズ yオートスイッチ数／取付位置 eインジケータおよび操作ポート方向 tオートスイッチの種類 型式表示方法 r温度仕様／ヒータの有無 ・シ.ル材質変更箇所とリーク量 uボディ表面処理／シール材質およびシール箇所の変更 ・シール材質 ※三菱電線工業（株）製 注1）常温時、ガス透過を除く 注2）シール箇所は構造図P.4の部品No.をご参照ください。 表中の丸数字は構造図の部品No.を示します。 無記号（標準）以外を選択される場合、記号の先頭に必ずX（エックス） を記入しボディ表面処理、シール材質、変更箇所の順に並べて表示 してください。 ・ボディ表面処理 例）XLA-16-2M9NA-XAN1A Barrel PerfluoroR は松村石油（株）の登録商標です。 KalrezR はデュポン（株）の登録商標です。 ChemrazR はグリーン, ツイードアンドカンパニー社の登録商標です。 wフランジの種類 注）サイズ16はH4, H5対応不可、サイズ25はH4対応不可 XLA Series アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉／ベローズシール 注1）上記オートスイッチは高温タイプへの取付不可です。 注2）リード線長さは0.5m（標準）。1mの場合はM、3mの場合はL、5mの場合 はZを末尾に表示してください。 例）-2M9NL RoHS 記号種類適応フランジサイズ 無記号KF（NW） 16・25・40・50・63・80 D K（DN） 63・80 記号表面処理 無記号外部：硬質アルマイト、内部：素地 A 外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト 記号シール材質配合NO. 無記号FKM 1349-80※ N1 EPDM 2101-80※ P1 Barrel PerfluoroR 70W Q1 KalrezR 4079 R1 ChemrazR SS592 R2 SS630 R3 SSE38 S1 VMQ 1232-70※ T1 FKM for Plasma 3310-75※ 記号変更箇所注2） リーク量　Pa・m3/s以下注1） 内部外部 無記号なし1.3×10.10（FKM） 1.3×10.11（FKM） A w,e,r 1.3×10.8 1.3×10.9 B w,e 1.3×10.8 1.3×10.9 C r 1.3×10.10（FKM） 1.3×10.9 D w 1.3×10.8 1.3×10.11（FKM） E w,r 1.3×10.8 1.3×10.9 記号温度範囲ヒータの有無 無記号5.60℃ . 高温タイプ H0 5.150℃ . H4 100℃用ヒータ付 H5 120℃用ヒータ付 記号オートスイッチ型式備考 無記号. オートスイッチなし（マグネットなし） M9N（M）（ L）（ Z）D-M9N（M）（L ）（Z ） M9P（M（）L（）Z）D-M9P（M（）L（）Z ） 無接点オートスイッチ M9B（M）（ L）（ Z）D-M9B（M）（L ）（Z ） A90（L） D-A90（L） 有接点オートスイッチ（フランジ A93（M（）L（）Z）D-A93（M（）L（）Z ） サイズ16は対応しておりません） M9// . オートスイッチなし（マグネット付） 記号インジケータ操作ポート方向 無記号インジケータなしフランジ側 A インジケータ付 フランジ側 F フランジ面 左 G フランジ面 裏 J フランジ面 右 K インジケータなし フランジ面 左 L フランジ面 裏 M フランジ面 右 記号数量検出位置 無記号オートスイッチなし. A 2ケ付弁開閉 B 1ケ付弁開 C 1ケ付弁閉 サイズ 16 25 40 50 63 80 XLA A