4 アルミニウム製 高真空L型バルブ XLA Series インジケータ（オプション） ヒータ（オプション） オートスイッチ（オプション） qボンネットAss'y（保守部品）※ 　（weyuio含む） uベローズAss'y（保守部品）※ 　（yi含む） 　ベローズ（材質：SUS316L） ベローズ側排気 wバルブシール1（保守部品）※ tボディ（材質：A6063） yバルブ（材質：SUS304） パイロットポート r外部シール（保守部品）※ eバルブシール2（保守部品）※ oナットAss'y（保守部品）※ iベローズホルダ（材質：SUS304） マグネット（オプション） 《オプション説明》 オートスイッチ： ヒータ　　　　： インジケータ　： 《作動説明》 パイロットポートからパイロット圧を加え ることにより、ピストンと連結したバルブ はスプリング力や圧力による作用力を振切 り、開きます。 マグネットでオートスイッチを作動します。オートスイッチ2ヶで"開閉"、オ ートスイッチ1ヶで"開"または"閉"の位置を検出します。温度の適用は一般用（5 .60℃）のみです。 サーミスターを用い簡易的に加熱します。 製品のサイズにより異なりますが、100･120℃にボディを加熱します。 サイズと設定温度によりサーミスターの種類と使用数が異なります。高温仕様 の場合、ボンネットAss'yは耐熱構成です。 バルブ開でボンネット上面中心付近に、マークを目視できます。 構造･作動 注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの“分子流”での値で代表しています。 注2）製品加熱用ヒータの仕様はP.6共通オプション仕様z加熱用ヒータをご参照ください。 バルブ側排気 ※保守部品につきましてはP.10をご参照ください。 仕様 型式XLA-16-2 XLA-25-2 XLA-40-2 XLA-50-2 XLA-63-2 XLA-80-2 弁の形式常時閉（加圧開・スプリングシール） 使用流体不活性ガス系の真空 使用温度　℃ 5.60（高温タイプの場合： 5.150） 使用圧力　Pa（abs） 1×10-6.大気圧 コンダクタンス　L/s注1） 5 14 45 80 160 200 リーク量 Pa・m3/s 内部標準材質（FKM）の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く 外部標準材質（FKM）の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く フランジの種類KF（NW） KF（NW）・K（DN） 主な材質本体：アルミ合金　　ベローズ：SUS316L　　要部：ステンレス、FKM（標準シール材） 表面処理外部：硬質アルマイト　　内部：素地 パイロット圧　MPa（G） 0.4.0.7 パイロットポート接続口径M5 Rc1/8 質量　kg 0.28 0.47 1.1 1.7 3.1 5.1