7 1 シール材 3 応答時間･作動時間 弁開 パイロット用電磁弁へ電圧印加後バルブ（XL□）のストロー クが、90%移動するまでの時間を弁開応答時間、弁開作動 時間はストローク開始から90%移動する時間を示します。 両者ともパイロット圧力が高いほど早くなります。 弁閉 パイロット用電磁弁への電源を切ってからバルブ（XL□）の ストロークが、90%復帰するまでの時間を弁閉応答時間、 弁閉作動時間は弁開から90%復帰するまでの時間を示しま す。両者ともパイロット圧力が高いほど遅くなります。 XLA Series 用語解説 記載内容は一般的な特長であり、プロセス条件により変わり ます。詳細はシール材メーカにお問合せください。 FKM（フッ素ゴム） ガス放出・圧縮永久歪・ガス透過量も少なく高真空用シール 材質として普及しています。SMC高真空L型弁の標準材質は、 三菱電線工業（株）製（配合No 1349-80）を使用。 O2プラズマによる重量減少率を改善した配合（3310-75）も あり、用途により選定することが望ましい。 KalrezR（カルレッツR）デュポン（株）の登録商標です。 耐熱性・耐薬品性が優れたパーフロロエラストマー（FFKM） ですが、圧縮永久歪につきましては注意が必要です。耐プラ ズマ性（O2,CF4）を改善した配合や耐ダスト改善品もあり、 用途により種類を選定することが望ましい。 配合No 4079：優れた耐ガス性・耐熱特性を有する標準カ ルレッツ材料。 ChemrazR（ケムラッツR）グリーン,ツイード アンド カンパニー社の登録商標です。 耐薬品性・耐プラズマ性に優れたパーフロロエラストマー （FFKM）。耐熱性もFKMよりやや高くなります。使用される プラズマやその他の条件により選定することが望ましい。 配合No SS592：優れた物理特性を持ち、特に運動部での使 用に効果的。 配合No SS630：固定部・運動部どちらにも使用でき、幅広 い用途に対応。 配合No SSE38：高密度プラズマ装置用に開発された、ケム ラッツRの中で最もクリーン度が高い材質。 Barrel PerfluoroR（バーレルパーフロR）松村石油（株）の登録商標です。 配合No 70W：金属充填材を含まないパーフロロエラストマ ー（FFKM）。NF3・NH3に耐性あり。ドライ プロセス環境下でパーティクルの発生が少 なく、圧縮永久歪も比較的少ない。 Silicone（シリコーンゴム, VMQ） 比較的安価で耐プラズマ性が良いが、ガス透過が大きくなり ます。 SMC高真空L型弁（シール材オプション）では、三菱電線工業 （株）製（配合No 1232-70 白）を使用。O2プラズマ・NH3ガ スに対して、低重量減少率・低パーティクル特性を持つ。 EPDM（エチレンプロピレンゴム） 比較的安価で耐候性・耐薬品性・耐熱性に優れるが一般の鉱 油には全く耐性が無い。SMC高真空L型弁（シール材オプシ ョン）では、三菱電線工業（株）製（配合No 2101-80）を使用。 NH3ガスなどに耐性を有する。 2 軸シール方法 ベローズ ダストの発生およびガス放出が最も少なく、クリーンなシー ル方式です。主流は成型ベローズと溶接ベローズ。前者はダ スト発生が少なく比較的ダストに強く、後者はストロークは 大きくとれるが、ダスト発生とダストに弱い面があります。 耐久性はストロークと速度にも左右されるので注意してくだ さい。 Oリングなど ガス巻込み、ダスト発生など真空性能はベローズ式よりやや 劣りますが、高速作動が可能で比較的耐久性が高くなります。 軸シール部には一般的にフッ素系グリースが塗布されており ます。