外形寸法図 90-MHZL2-16DF 方 向 制 御 機 器 アクチュエータエアチャック 清浄化機器 エアフィルタ・ 圧力制御機器 駆動制御関連機器 真空機器 検出スイッチ オートスイッチ 97-2 平行開閉形エアチャック／ロングストローク90-MHZL2 Series A