外形寸法図 91-MHL2-20D1 101 平行開閉形エアチャック／幅広タイプ91-MHL2 Series 方向制御機器 アクチュエータエアチャック 清浄化機器 エアフィルタ・ 圧力制御機器 駆動制御関連機器 真空機器 検出スイッチ オートスイッチ